我国真空泵行业发展现状与应用领域，干式螺旋真空泵市场前景广阔

真空系统是用来获得真空环境的系统，是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛，是真空系统重要的组成部分，是用来产生、改善和维持真空环境的装置，被广泛应用于制药、化工、食品、电子等下游行业，需求量大面广。一般真空泵应用可根据真空度的不同要求和应用领域分为8个类别，包括粗真空、工艺真空、工业真空、半导体、薄膜沉积（除半导体外）、太阳能、仪器制造以及科学研究。对应的产品也各不相同，高/超真空对应低温泵、 分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵等；中真空主要对应干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵；粗/低真空对应单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。目前半导体领域是真空设备应用规模**的下游市场，占到整个市场规模的38%。

一般按照真空泵的工作原理，可以将其分为气体传输泵和气体捕集泵两种基本类型。气体传输泵主要是通过不断地吸入和排除气体达到抽气目的，气 体捕集泵通过使气体分子被吸附或者凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的。在工业应用领域比较常见的真空泵包括水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵等，但是在高端产品领域进口泵依然更受到市场的欢迎，主要还是由于国产泵在压缩比方面还是略有劣势，这主要是因为外国泵用的合金比国内铸件稳定性高，热胀冷缩也小，里边的间隙可以做得更精密。

二、行业发展概况

近年来国内真空泵行业由于供给侧结构性改革以及国内经济大环境转变带来的影响，一些中小型企业逐步退出市场，由于低端供给过多且传统制造业下游订单数量减少导致我国真空泵产量快速下滑。2017-2020年我国泵及真空设备产业规模以上企业主营业务收入由2212.39亿元下降至1781.4亿元，真空泵产量有1070.93万台下降至526.64万台，其中国内市场需求下降明显。2020年以来真空泵行业结构转型趋势明显，干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵，在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。

注：此处产量仅统计规模以上企业。

相关报告：华经产业研究院发布的《2021-2026年中国真空泵市场供需现状及投资战略研究报告》；

三、市场竞争格局

半导体真空泵目前主要由国外企业主导，国产干式真空泵的应用不足15%，国内半导体工业用的干式真空泵几乎全部从国外进口。Atlas Copco是半导体真空泵的龙头企业，其于 2014年收购了 Edward 并进军半导体真空泵行业，在 2019 年它的真空行业订单总额增长了9%，半导体真空泵设备在中国的推动下稳步增长。从国内外企业的产品布局来看，Edwards作为真空领域绝对的领先者，产品系列最全，各种结构的真空泵均有布局；Ebara以罗茨泵为主；Kashiyama以罗茨泵和螺杆泵为主。反观国内，汉钟精机作为螺杆泵的龙头，真空泵以螺杆式为主，旋片泵也有所布局；中科仪以涡旋泵和罗茨泵为主；中科科仪以分子泵、旋片泵为主。

四、真空泵进出口情况

目前外资企业在国内真空泵市场上占据了重要地位，而多数国内企业研发创新能力不强，与国外同行相比还存在较大的差距。2015年以来尽管国内真空泵出口数量明显增长，出口远超进口数量，但是出口产品单价较低缺乏高端技术产品，出口额仅为进口金额的四分之一。国产设备虽然在价格上有优势，但从长期来看并非长久生存之策，尤其是在市场竞争激烈的当下，关键还是要靠创新技术、改进设计、缩小体积、减轻重量、提高效率、降低能耗等，提高产品的价值。例如，需要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力等。以干式螺旋真空泵为代表的产品的国产替代化进程将带来巨大的市场空间。