干式真空泵内凝结了颗粒物、可凝性气体该如何解决

在实际的干式真空泵应用中，干式真空泵也分接触型与非接触型。因此在处理一些含颗粒物气体过程中，并不是所有的干式真空泵都如螺杆真空泵、罗茨真空泵等非接触型泵种一样对颗粒气体有良好耐受性，而是需要通过过滤设备来予以解决。那么干式真空泵内凝结了颗粒物、可凝性气体到底该如何解决呢？
1、适当提高泵温。物质的升华、凝固是压力与温度的函数，随物质不同各有变化。因此提高泵内温度可以避免一些介质在泵内压缩过程中发生气固变相而形成颗粒物。如Al在刻蚀过程中生产的氯化铝，在对应压力下，其在80℃就会开始气化，因此在将泵内温度保持在80℃就可有效避免氯化铝的固化沉积。

2、降低会反应气体的浓度。单位时间内气体反应生成颗粒数量与气体浓度相关，所以在干式真空泵抽取这类气体的工艺中可以通过充入惰性气体，减少反应气体浓度来降低颗粒物的形成。这个方法也会用于泵内温度冷却，防止介质降解、聚合形成腐蚀性物质等，也可以防止介质达到着火极限等可能，如CVD工艺中可能的爆炸。

3、增加抽气通道中的气流速度。为防止处于悬浮状态的固体颗粒物沉积，使气体的流动速度大于颗粒物沉积的临界速度，就可保证颗粒物随气流输送排出，防止沉积。具体的方法与第2点一样，在不影响真空泵的极限压力的前提下，就是充入适量气体。