一、原理与特点：
螺杆干式真空泵是通过泵腔内一对作等速反向旋转螺杆的啮合作用，完成从吸入气体、压缩气体到排出气体而形成高真空的过程。即两个旋向相反的非接触螺杆型转子在泵腔内做等速反向旋转。当螺杆旋转时，在螺杆真空泵的进口处吸入一定体积量的气体，气体被压缩并输送到真空泵的排出口处被排出。由于泵的二个螺杆之间以及螺杆与泵腔之间均无接触，泵腔内不需要润滑油。用于润滑齿轮和轴封的润滑油通过轴封与泵腔密封。泵的冷却可以通过循环冷却水直接冷却或者通过带有风扇及散热器的冷却装置进行冷却。
本公司螺杆干式真空泵采用第三代变螺距螺杆转子型线，与采用等螺距螺杆型线的传统螺杆真空泵比较，降低30%左右的能耗、排气端温升降低100℃左右，产品运行的可靠性、稳定性大大提高，可以适合任何工况的抽真空需要。
可以广泛应用于化工制药行业的溶剂回收、真空干燥、浓缩、结晶、蒸馏等工艺，塑料橡胶行业的真空挤出、成型等，冶金行业真空脱气；太阳能、微电子、锂电池等行业的真空脱气、干燥等。
二、主要特点：
螺杆转子采用变螺距结构设计，极限真空可达1Pa以下，可以满足从大气到高真空的各类真空处理。
泵腔内无油可以适应各种特殊工况可靠使用；
可以适应从大气到几帕压力范围内长期可靠运行；
运动部件之间无摩擦，结构简单操作、使用维护成本更低；
使用氮气及唇形复合密封，可靠性好、使用成本低、维修简单；
转子经高速动平衡，采用法兰连接电动机，同心度高、振动小、噪声低；
过流部分采用哈氏合金防腐涂层，可凝物在泵腔内不易凝结，耐腐蚀性更好。
与油封泵、液环泵及油封泵相比较，无废气、无废液、无废油排放，节能环保运行。
可单独使用也可与罗茨真空泵、气冷罗茨真空泵、分子真空泵等组成无油高真空活得设备。
三、典型应用流程图：
四、 主要材料：
泵体及端盖：高强度铸铁；
螺杆转子：球墨铸铁；
防腐涂层：耐腐蚀PFA或哈氏合金；
同步齿轮：合金钢；
唇形密封：进口聚四氟混合物；
骨架油封：耐高温氟橡胶;
密封轴套：不锈钢表面覆盖陶瓷；
五、标准配置：
机座、泵头、联轴器、电机、开车滤网、进气口接头、止回阀、真空计、手动充气阀排气口消声器；
可选配件：
进气口过滤器、进气口冷凝器、溶剂冲洗装置、氮气吹扫装置、氮气密封装置、排气口冷凝器、电磁充气阀、冷却水流量开关、温度传感器、压力变送器；
六、典型应用：
（1）工业炉 （7）干燥工艺
（2）化工、制药 （8）尾气回收
（3）真空镀膜 （9）锂电池
（4）冶金 （10）太阳能
（5）检漏 （11）电力行业
（6）包装印刷 （12）微电子行业
（13）风动试验
